WS 系列

为全自动设备,针对最大12吋晶圆进行开槽、钻孔加工、整合涂布、切割、清洗功能于同一设备。

工件为晶圆的型态。

WS-300

为全自动设备,最大工作范围为12吋晶圆,
直线/曲线或特定位置开槽,钻孔皆可实现。

WS-200

为全自动设备,最大工作范围为8吋晶圆,
直线/曲线或特定位置开槽,钻孔皆可实现。