腔体式​

800C:低频(LF,100~120 KHZ),搭配MPC,无蝶阀(Throttle valve)

800 II: 高频(RF-radio frequency 13.56 MHZ),搭配MFC,有蝶阀

800 III:低频(LF,100~120 KHZ),搭配MFC(Mass flow controller),有蝶阀

Plasmax – 800 C

腔体式/Chamber电将清洗全系列设备 ​

Plasmax – 800 II/III

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Plasmax – 800 A/B

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Plasmax – 600 SD

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Plasmax – 1000 N

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