腔体式
800C:低频(LF,100~120 KHZ),搭配MPC,无蝶阀(Throttle valve)
800 II: 高频(RF-radio frequency 13.56 MHZ),搭配MFC,有蝶阀
800 III:低频(LF,100~120 KHZ),搭配MFC(Mass flow controller),有蝶阀
800 II: 高频(RF-radio frequency 13.56 MHZ),搭配MFC,有蝶阀
800 III:低频(LF,100~120 KHZ),搭配MFC(Mass flow controller),有蝶阀
Plasmax – 800 C
腔体式/Chamber电将清洗全系列设备
Plasmax – 800 II/III
腔体式/Chamber电将清洗全系列设备
Plasmax – 800 A/B
腔体式/Chamber电将清洗全系列设备
Plasmax – 600 SD
腔体式/Chamber电将清洗全系列设备
Plasmax – 1000 N
腔体式/Chamber电将清洗全系列设备