电浆切割设备：PD-200WA/ PD-200F为全自动分别适用于最大8”晶圆型态及铁框型态的电浆切割作业，具有下列特色：

• 特点
• Non-Scallop制程：提升晶粒强度
• 低温制程：无tape damage风险
• 采用Microwave：没有ESD伤害
• 低温制程：无tape damage风险
• 适用非矩形切割
• 可多片小尺寸晶圆并行作业
• 高性价比的设备
• 软体支援：
• Data log, Error/Error recovery
• 周期性保养纪录
• SECS/GEM